Elektronu staru iztvaikošanas vakuuma pārklājuma iekārtas parasti tiek izmantotas AR/AF pārklājumu, tostarp cieto plēvju, dekoratīvo plēvju, ITO plēvju, joslas caurlaides filtru un HR plēvju, uzklāšanai. Tam ir tādas priekšrocības kā augsta efektivitāte, lielāka ražošanas jauda un zemākas ražošanas izmaksas. AR plēvēm (substrāta stikla caurlaidība > 91,5%) 420-680 nm viļņa garuma joslā vienas-vidējā caurlaidība > 95% un atstarošana < 0,5% (vidēji). Divpusējā vidējā caurlaidība > 98% un atstarošana < 0,5% (vidēji). Tam ir plašs pielietojums tirgū.
Vakuuma iztvaikošanas pārklājuma tehnoloģija ietver iztvaicējošā materiāla ievietošanu ar ūdeni{0}}dzesējamā tērauda tīģelī un tiešu karsēšanu ar elektronu staru. Iztvaikojošais materiāls iztvaiko un pēc tam kondensējas uz pamatnes virsmas, veidojot plēvi. Šī ir svarīga sildīšanas metode un attīstoša tendence vakuuma iztvaikošanas pārklājuma tehnoloģijā. Elektronu staru iztvaikošana novērš daudzus tradicionālās pretestības karsēšanas iztvaikošanas trūkumus, un tā ir īpaši piemērota plānu kārtiņu materiālu ar augstu -kušanas punktu- un augstas-tīrības pakāpes izgatavošanai.
Vakuuma iztvaikošanas tehnoloģiju, kas balstās uz iztvaikošanu, izmantojot elektronu staru, var klasificēt vairākos veidos, pamatojoties uz elektronu stara iztvaikošanas avota veidu, tostarp gredzenveida lielgabalus, taisnvirziena lielgabalus, E- tipa lielgabalus un doba katoda elektronu lielgabalus.
Gredzenveida lielgabals izstaro elektronu staru no gredzenveida{0}}katoda. Pēc fokusēšanas un novirzīšanas stars ietriecas tīģelī, izraisot metāla iztvaikošanu. Tā struktūra ir salīdzinoši vienkārša, taču tā jauda un efektivitāte ir zema, tādēļ tā galvenokārt ir laboratorijas ierīce; to vairs neizmanto ražošanas iekārtās.
Taisns lielgabals ir asimetrisks lineārs paātrinātājs, kurā elektroni tiek izstaroti no kvēldiega katoda, fokusēti smalkā starā, ko paātrina anods, un pēc tam ietriecas tīģelī, izkausējot un iztvaicējot pārklājuma materiālu. Taisni ieroči svārstās no vairākiem simtiem vatu līdz vairākiem simtiem kilovatu; daži tiek izmantoti vakuuma iztvaicēšanai, bet citi tiek izmantoti vakuumkausēšanai. Tiešo pistoļu trūkumi ir tādi, ka iztvaikotais materiāls var piesārņot pistoles konstrukciju, izraisot darbības nestabilitāti. Turklāt nātrija joni, kas izplūst no kvēldiega, var arī piesārņot pārklājumu. Nesen Rietumvācijas uzņēmums izstrādāja uzlabotu taisnā pistoles versiju, pievienojot novirzošu magnētisko lauku pie elektronu stara izejas un iestrādājot neatkarīgu evakuācijas sistēmu pie kvēldiega. Tas ne tikai pilnībā novērš pārklājuma pavedienu piesārņojumu, bet arī uzlabo pistoles kalpošanas laiku.
E-tipa elektronu lielgabals ar 270-grādu novirzi pārvar taisnās-pistoles elektronu iztvaikošanas trūkumus un ir viens no visplašāk izmantotajiem elektronu stara iztvaikošanas avotiem. E-tipa elektronu lielgabals var radīt lielu jaudas blīvumu, kausēt metālus ar augstu-kušanas-punktu un iztvaikošanas daļiņas ar lielu enerģiju, kā rezultātā veidojas spēcīga saite starp plēvi un substrātu un laba plēves kvalitāte. Trūkumi ir tādi, ka elektronu lielgabalam ir nepieciešams augsts vakuums un negatīvs augsts spriegums, kas rada sarežģītu aprīkojuma struktūru, sliktu drošību, apgrūtinātu apkopi un augstas izmaksas.
Dobā katoda elektronu lielgabalā kā sildīšanas avots tiek izmantots plazmas elektronu stars, ko ģenerē zema{0}}sprieguma, lielas-strāvas doba katoda izlāde. Tas izmanto dobu tantala cauruli kā katodu, tīģeli kā anodu un papildu anodu tantala caurules tuvumā. Veicot tvaiku nogulsnēšanos, izmantojot dobu katoda elektronu lielgabalu, radītajiem iztvaikošanas joniem ir augsta enerģija un augsts jonizācijas ātrums, kā rezultātā tiek iegūtas augstas- kvalitātes plēves. Dobu katoda elektronu lielgabalam ir nepieciešams zemāks vakuuma līmenis nekā e-tipa elektronu lielgabalam, un tas darbojas ar zemu spriegumu, padarot aprīkojumu salīdzinoši vienkāršāku, drošāku un lētāku. Pašlaik gan e-tipa, gan dobā katoda elektronu lielgabali ir veiksmīgi izmantoti tvaiku pārklāšanas un jonu pārklāšanas iekārtās mūsu valstī. Ieroču jauda var sasniegt desmitiem tūkstošu kilovatu, un ir nogulsnētas dažādas plānas plēves tādām nozarēm kā mašīnas un elektronika.
Iztvaikošanas avota priekšrocības elektronu staru iztvaikošanas vakuuma pārklājuma iekārtās ir:
1) Elektronu staru bombardēšanas siltuma avotam ir augsts staru kūļa strāvas blīvums, kas panāk daudz lielāku enerģijas blīvumu nekā pretestības sildīšanas avoti. Tas var iztvaikot materiālus līdz 3000 grādiem pēc Celsija ar augstu iztvaikošanas ātrumu;
2) Tā kā iztvaicējamais materiāls tiek ievietots ūdens -dzesējamā tīģelī, tiek novērsta tvertnes materiāla iztvaikošana un reakcijas starp konteinera materiālu un iztvaicēšanas materiālu, kas ir ļoti svarīgi, lai uzlabotu pārklājuma tīrību;
3) Siltumu var tieši uzklāt uz iztvaikošanas materiāla virsmas, kā rezultātā tiek sasniegta augsta termiskā efektivitāte un minimāli siltuma vadīšanas un starojuma zudumi.
