Efektīva PVD Magnetron Sputtering Continuous Coating Line ir ļoti specializēta ražošanas sistēma, ko galvenokārt izmanto, lai uz substrātu virsmas (piemēram, stikla, plastmasas, metāla, keramikas, pusvadītāju plāksnītes utt.) uzklātu vienu vai vairākus īpaši plānu funkcionālu plēvju slāņus.
Tās pamatā ir pārklājuma materiāla iztvaicēšana vai jonizācija, izmantojot dažādas fizikālas metodes ļoti vakuuma vidē, un pēc tam kondensēt to plēvē uz pamatnes virsmas.
Lietojumprogrammas:
Vakuuma pārklājums no vara, sudraba un citiem vadošiem materiāliem uz elektrisko komponentu keramikas un shēmas plates keramikas virsmas.
Tas ir piemērots arī dažādu metāla plēvju slāņu uzklāšanai ar vakuumu uz citu plākšņu{0}}, piemēram, apstrādājamo detaļu (stikla, akrila plātnes utt.) virsmas;
Galvenās iezīmes:
Magnētiskais lauks ierobežo plazmu
Šī ir magnetrona izsmidzināšanas galvenā iezīme. Piemērojot spēcīgu noteiktas formas (parasti gredzena vai hipodroma formas) magnētisko lauku mērķa virsmas tuvumā, elektroni tiek ierobežoti mērķa virsmas tuvumā, lai veiktu spirālveida kustību, kas ievērojami palielina elektronu sadursmes un jonizācijas iespējamību ar darba gāzes (parasti argona) atomiem.
Augsts jonizācijas ātrums un augsts nogulsnēšanās ātrums
Magnētiskā lauka ierobežojums ievērojami palielina plazmas blīvumu un jonizācijas ātrumu, padarot izsmidzināšanas procesu efektīvāku.
Tas nozīmē, ka pie salīdzinoši zema gāzes spiediena un zema izsmidzināšanas sprieguma/jaudas var sasniegt daudz lielāku izputināšanas un nogulsnēšanas ātrumu nekā parastā līdzstrāvas izsmidzināšana.
Zemas temperatūras process
Tā kā lielākā daļa enerģijas tiek izmantota gāzes un izsmidzināšanas mērķa atomu jonizēšanai, uz substrātu tiek pārnests salīdzinoši maz siltuma.
Laba filmas kvalitāte
Labs blīvums, spēcīga saķere, augsta tīrība un laba viendabība.
Plašs materiālu pielāgošanas spēju klāsts
Laba procesa vadāmība
Magnetronu izsmidzināšanas pārklājumu ražošanas līnija ir kļuvusi par vienu no galvenajām tehnoloģijām funkcionālu plānu kārtiņu (piemēram, optiskās plēves, vadošās plēves, nodilumizturīgas cietās plēves, dekoratīvās plēves, pretkorozijas plēves, magnētiskās plēves, pusvadītāju plēves u.c.) sagatavošanai mūsdienu rūpniecībā, pateicoties tās galvenajām īpašībām un lieliskām procesa priekšrocībām (augstas temperatūras, spēcīgās nogulsnēšanās plēves priekšrocībām, piemēram, zemam sablīvēšanās ātrumam). saķere), plaša materiāla pielāgošanās spēja, laba viendabīgums un vadāmība. Tam ir ārkārtīgi plašs pielietojums mikroelektronikā, plakano paneļu displejos, saules baterijās, instrumentu pārklājumos, automobiļu detaļās, iepakojumā, dekorēšanā, optiskajās ierīcēs un citās jomās.
Populāri tagi: efektīva pvd magnetrona izsmidzināšanas nepārtraukta pārklājuma līnija, Ķīna efektīvas pvd magnetrona izsmidzināšanas nepārtrauktas pārklājuma līnijas ražotāji, piegādātāji, rūpnīca
