Vakuuma cauruļu pārklāšanas princips vakuuma pārklāšanas mašīnās ir tāds, ka elektroni, elektriskā lauka ietekmē paātrināti virzienā uz substrātu, saduras ar argona atomiem, jonizējoties par lielu skaitu argona jonu un elektronu. Pēc tam elektroni lido uz substrāta pusi. Argona joni, ko paātrina elektriskais lauks, bombardē mērķa materiālu, izsmidzinot lielu skaitu mērķa atomu, kas kā neitrāli mērķa atomi (vai molekulas) nogulsnējas uz substrāta, veidojot plēvi. Sekundāros elektronus paātrinājuma laikā pret substrātu ietekmē magnētiskā lauka Lorenca spēks un tie ir ierobežoti plazmas reģionā, kas atrodas netālu no mērķa virsmas. Šim reģionam ir augsts plazmas blīvums, un sekundārie elektroni magnētiskā lauka ietekmē ap mērķa virsmu pārvietojas apļveida kustībā.
Šis garais kustības ceļš ietver nepārtrauktas sadursmes ar argona atomiem, kas jonizējas par lielu skaitu argona jonu, kas bombardē mērķa materiālu. Pēc vairākām sadursmēm elektroni pakāpeniski zaudē enerģiju, atbrīvojas no magnētiskā lauka līnijām, attālinās no mērķa materiāla un beidzot nogulsnējas uz substrāta. Tagad, pievienojot vidējas-frekvences magnetrona izsmidzināšanas mērķi, plēves iztvaikošanas molekulas paātrina un bombardē mērķa materiāls elektriskā lauka iedarbībā, izsmidzinot lielu skaitu mērķa atomu.
Neitrālie mērķa atomi (vai molekulas) tiek nogulsnēti uz substrāta, veidojot plēvi, kas atrisina tādu plēvju veidu problēmu, kurus agrāk nevarēja apstrādāt ar dabīgu iztvaikošanu, piemēram, titāna pārklājums, cirkonija pārklājums utt.
Pašlaik alumīnija{0}}slāpekļa kompozītmateriālu plēvi parasti izmanto vakuuma caurulēs. Visa plēve sastāv no trim slāņiem: iekšējā, vidējā un ārējā, katram ir sava funkcija. Iekšējais slānis ir atstarojošs slānis, kura galvenā funkcija ir novērst karstā ūdens siltuma izstarošanos caurulē.
Vidējais slānis ir absorbcijas slānis, kura galvenā funkcija ir absorbēt gaismas enerģiju un pārvērst to siltumenerģijā.
Ārējais slānis ir pret{0}}atstarojošs slānis, kura galvenā funkcija ir samazināt saules gaismas atstarošanu un palielināt saules gaismas absorbcijas ātrumu.
