Daudzi klienti, pērkot, ir neizpratnēvakuuma pārklāšanas mašīnas. Viņi zina, kāda veida un modeļa pārklāšanas mašīna viņiem ir nepieciešama, taču viņi nevar noteikt, kādiem standartiem iekārtai jāatbilst, lai to uzskatītu par labu kvalitāti un augstu{1}}kvalitāti. Šī neskaidrība liek viņiem izvēlēties daudzus apkārtceļus. Zemāk Puyuan Vacuum sniegs detalizētu ievadu galvenajām tehniskajām prasībām, kurām jāatbilst vakuuma pārklāšanas iekārtai.
Vakuuma iztvaicēšana, katoda jonizācija, magnetronu izsmidzināšana:
1.Vakuuma cauruļvadu un iekārtu statisko blīvējuma komponentu struktūrai jāatbilst GB/T6070.
2.Vakuuma mērierīces jāuzstāda uz zema -vakuuma un augsta-vakuuma cauruļvadiem, kā arī uz vakuuma pārklājuma kameras, lai izmērītu vakuuma līmeni katrā vietā. Ja tiek konstatēti elektriskā lauka traucējumi, mērīšanas pieslēgvietā jāuzstāda elektriskā lauka ekranēšanas ierīce.
3.Ja PVD pārklājuma iekārtā izmantotais galvenais sūknis ir difūzijas sūknis, sūkņa ieplūdes pusē jāuzstāda eļļas tvaiku uztvērējs.
4. Vakuuma pārklāšanas iekārtas pārklājuma kamerai jābūt aprīkotai ar novērošanas logu un deflektoru. Novērošanas logam jāļauj novērot nogulsnēšanās avota un citu kritisko komponentu darba stāvokli.
5. Jonu pārklājuma nogulsnēšanas avota konstrukcijai ir jāpalielina jonizācijas ātrums pārklāšanas procesā, jāuzlabo pārklājuma materiāla izmantošanas ātrums, racionāli jāsaskaņo nogulsnēšanās avota jauda un racionāli jāsakārto nogulsnēšanās avota novietojums vakuuma kamerā.
6.Sildīšanas ierīcei jābūt racionāli sakārtotai; parasti sildītāja struktūras izkārtojumam jānodrošina vienmērīga pārklājamās sagataves temperatūras paaugstināšanās.
7. Sagataves turētājam jābūt izolētam no vakuuma kameras, un sagataves turētāja konstrukcijai jānodrošina, lai sagataves plēves slānis būtu vienmērīgs.
8. Jonu vakuuma pārklāšanas mašīnām parasti jābūt ar sagataves negatīvu nobīdes spriegumu un jonu bombardēšanas barošanas avotu. Jonu bombardēšanas barošanas avotam ir jābūt ierīcei, kas apspiestu neparastu izlādi un uzturētu stabilu darbību.
9.Izolācijas pretestības vērtībām starp dažādām vakuuma kameras daļām, kas savienotas ar dažādiem potenciāliem, jāatbilst GB/T11164-1999 4.4.6.
10. Citi piesardzības pasākumi
(1) Apkārtējās vides temperatūra: 10-30 grādi
(2) Relatīvais mitrums: ne vairāk kā 75 %
(3) Dzesēšanas ūdens ieplūdes temperatūra: ne augstāka par 25 grādiem
(4) Dzesēšanas ūdens kvalitāte: komunālais krāna ūdens vai līdzvērtīgas kvalitātes ūdens.
(5) Strāvas padeve: 380 V trīs-fāzes 50 Hz vai 220 V vienfāze 50 Hz (atkarībā no izmantotajām elektroierīcēm); sprieguma svārstību diapazons: 342-399V vai 198-231V; frekvences svārstību diapazons: 49-51Hz.
(6) Iekārtai nepieciešamais spiediens, temperatūra un saspiestā gaisa, šķidrā slāpekļa, aukstā ūdens, karstā ūdens u.c. patēriņš ir jānorāda izstrādājuma lietošanas pamācībā.
(7) Iekārtas apkārtējai videi jābūt tīrai, un gaisam jābūt brīvam no putekļiem vai gāzēm, kas varētu izraisīt elektrisko komponentu vai citu metāla daļu koroziju vai vadītspēju starp metāliem.
