Vakuuma pārklājuma mašīnas darba vides prasības

Vakuuma pārklājuma mašīna galvenokārt attiecas uz pārklājumu, kas jāveic augsta vakuuma laikā, ieskaitot vakuuma jonu iztvaikošanu, magnetrona stutēšanu, molekulāro staru epitaksiju, PLD lāzera spridzināšanas nogulsnēšanos un daudzus citus veidus. Tās galvenā ideja ir sadalīta iztvaikošanā un izsmidzināšanā.
Vakuuma pārklājuma mašīnas darba vides prasības:
Vakuuma pārklājuma aprīkojumam vajadzētu darboties vakuuma apstākļos, tāpēc aprīkojumam jāatbilst vides vakuuma prasībām. Vietnes vakuuma prasības parasti ietver vakuuma aprīkojuma prasības laboratorijas (vai darbnīcas) temperatūrai, gaisam un citām daļiņām apkārtējā vidē, kā arī prasības attiecībā uz detaļām vai virsmām vakuumā vai vakuumā.
Šie divi aspekti ir cieši saistīti. Apkārtējā vide tieši ietekmē vakuuma aprīkojuma parasto izmantošanu; Neatkarīgi no tā, vai vakuuma kamera vai vakuuma iekārtās uzstādītās detaļas ir tīras, tieši ietekmē aprīkojuma veiktspēju. Ja gaisā ir daudz ūdens tvaiku un putekļu, ir grūti sasniegt paredzamo vakuuma pakāpi, sūknējot ar eļļas aizzīmogotu mehānisku sūkni, netīrot vakuuma kameru. Ir labi zināms, ka eļļas aizzīmogotiem mehāniskiem sūkņiem nevajadzētu izsūknēt gāzes, kas satur daļiņu putekļus, kas ir kodīgi metāliem un reaģē uz vakuuma eļļu. Ūdens tvaiki ir kondensējama gāze. Kad tiek izsūknēts liels daudzums kondensējamas gāzes, sūkņa eļļas piesārņojums būs nopietnāks. Tāpēc tiks samazināts sūkņa galīgais vakuums un pasliktinās sūkņa sūknēšanas veiktspēja.
Putekļus rūpnieciskajā vidē raksturo pulverveida ķermeņi, bez nosaukuma acis un putekļi. Pulveris ir viela pulvera vai cietu daļiņu agregācijas vai izkliedes stāvoklī. Tā sauktais pulveris attiecas uz sīku cietu daļiņu kolekciju, un daļiņas attiecas uz sīkām vielām, kuras var saskaitīt pa vienai. Dūmi ir materiāla sistēma, kurā gāzē peldošā stāvoklī ir mazas cietas vai šķidruma daļiņas. Vielas, kas ir granulētā stāvoklī, neatkarīgi no tā, vai tas ir ciets, vai šķidrums, kolektīvi sauc par putekļu daļiņām. Gaisa tīrības standartu nosaka putekļu daļiņu izmēra lielums, tādējādi pielāgojot tīras telpas pakāpi. Tas ir piemērojams ne tikai rūpniecības nozarēm ar tīrām prasībām, bet arī vakuuma prasībām tīrai videi.