1. Vakuuma kamera
Vakuuma kamera ir vakuuma pārklājuma mašīnas galvenā daļa. Tās galvenā funkcija ir radīt vakuuma vidi un saglabāt pārklājuma procesu vakuuma stāvoklī. Vakuuma kamera parasti ir izgatavota no nerūsējošā tērauda vai alumīnija sakausējuma materiāliem ar augstu vakuuma blīvējumu un izturību pret koroziju.
2. sūkņu sistēma
Sūkņu sistēma ir viena no galvenajām vakuuma pārklājuma mašīnas sastāvdaļām. Tas galvenokārt ir atbildīgs par gāzes iegūšanu vakuuma kamerā, lai vakuuma pakāpe sasniegtu nepieciešamo pakāpi. Sūkņa sistēmu parasti veido molekulārie sūkņi, mehāniskie sūkņi un difūzijas sūkņi. Dažādas sūkņu kombinācijas var sasniegt dažādus vakuuma grādus un sūknēšanas ātrumu.
3. Substrāta iespīlēšanas ierīce
Substrāta iespīlēšanas ierīce ir vēl viena svarīga vakuuma pārklājuma mašīnas sastāvdaļa. To izmanto, lai fiksētu pārklājamo substrāta materiālu un kontrolētu tā stāvokli un kustības trajektoriju. Substrāta iespīlēšanas ierīci parasti veido rotējoša tabula, celšanas mehānisms un substrāta skava. Dažādas skavas var pielāgoties dažādu formu un izmēru substrātiem.
4. Apkures sistēma
Apkures sistēma ir nepieciešama komponents vakuuma pārklājuma mašīnā. Tas var sildīt substrātu un pārklājuma materiālu, lai veicinātu pārklājuma veidošanos un uzlabotu tā kvalitāti. Apkures sistēmu parasti ievieš ar pretestības stiepli, elektromagnētisko sildīšanu, indukcijas sildīšanu un citām metodēm.
5. Pārklājuma avots
Pārklājuma avots ir pēdējais komponents vakuuma pārklājuma mašīnā. To izmanto, lai nodrošinātu materiālu, kas jāpārklāj, parasti ieskaitot metālus, keramiku, silīciju un citus materiālus. Pārklājuma avots var novietot materiālu uz substrāta ar elektronu staru, iztvaikošanu, izspiešanu un citām metodēm, lai veidotu nepieciešamo pārklājumu.
Kopsavilkums: vakuuma pārklājuma mašīna ir ierīce, ko izmanto augstas kvalitātes pārklājumu ražošanai, kurā galvenās sastāvdaļas ir vakuuma kamera, sūkņu sistēma, substrāta iespīlēšanas ierīce, apkures sistēma un pārklājuma avots. Šīs sastāvdaļas darbojas kopā, lai pabeigtu pārklājuma sagatavošanas procesu.
