Vairāki parastie jonu avoti vakuuma pārklājuma mašīnu pārklājuma procesā

Lai uzlabotu sagataves saķeri, saistīšanas spēku un plēves struktūru, daudzas vakuuma pārklājuma mašīnas pārklājuma procesā ir aprīkotas ar jonu avotiem.
Lai arī ir daudz jonu avotu veidu, to mērķis nav nekas cits kā tīrīšana tiešsaistē, uzlabojot enerģijas sadalījumu un modulāciju pārklātajā virsmā, lai palielinātu reakcijas gāzes enerģiju. Jonu avots var ievērojami uzlabot saiknes izturību starp plēvi un substrātu, kā arī var uzlabot pašas filmas cietību un nodilumu. Ja galvanizācijas instrumenta izturīgais nolietojums parasti ir biezāks un plēves biezuma vienveidība nav augsta, var izmantot jonu avotu ar lielāku jonu strāvu un augstāku enerģijas līmeni, piemēram, zāles jonu avotu vai anoda jonu avotu.
Anoda slāņa jonu avota princips ir līdzīgs Hall Ion avota principam. Ar pastiprinātu magnētisko lauku pievieno gredzenveida (taisnstūra vai apļveida) šauru spraugu, un darba gāze tiek jonizēta un izstarota sagatavei ar anoda darbību. Anoda slāņa jonu avotu var padarīt ļoti lielu un garu, kas ir īpaši piemērots lielo daļu, piemēram, arhitektūras stikla, galvanizācijai. Arī anoda slāņa jonu avota jonu strāva ir liela. Tomēr jonu plūsma ir atšķirīga, un enerģijas līmeņa sadalījums ir pārāk plašs. Parasti tas ir piemērots lieliem darbiem, stikla, nodiluma izturīgiem un dekoratīviem darbiem. Bet uzlabotajos optiskajos pārklājumos nav daudz lietojumu.
Šis vakuuma pārklājums ir aprīkots ar zāles jonu avotu, kur anods un spēcīgais aksiālais magnētiskais lauks darbojas kopā, lai jonizētu procesa gāzi. Aksiālā magnētiskā lauka spēcīgā nelīdzsvarotība atdala gāzes jonus, veidojot jonu staru. Tā kā aksiālais magnētiskais lauks ir pārāk spēcīgs, zāles jonu jonu stars jāpapildina ar elektroniem, lai neitralizētu jonu plūsmu. Parasts neitralizācijas avots ir volframa kvēldiegs (katods).