Viens. Regulāri nomainiet difūzijas sūkņa eļļu.
Difūzijas sūkņa eļļa tiek izmantota laika periodā, aptuveni divus mēnešus (divas maiņas). Ilgstošas -augstas-temperatūras vides dēļ pat tad, ja difūzijas sūknis tiek aktivizēts tikai augstā vakuumā, atlikušais skābeklis un citas sastāvdaļas var reaģēt ar difūzijas sūkņa eļļu. Šī augstā temperatūra var izraisīt arī difūzijas sūkņa eļļas sadalīšanos, pasliktinot tās kvalitāti un pagarinot sūknēšanas laiku. Ja mēs uzskatām, ka sūknēšanas laiks ir pārmērīgi pagarināts, tas ir jānomaina.
Divas. Vakuuma sūkņi
Mehāniskās sūkņu eļļas un apkopes sūkņu eļļas kvalitāte mainīsies pēc divu mēnešu lietošanas. Tas var notikt mitruma, piemaisījumu un citu faktoru iekļūšanas dēļ, kas var izraisīt eļļas viskozitātes pasliktināšanos un vakuuma samazināšanos, tādēļ ir nepieciešama nomaiņa. Jaunas iekārtas nomaiņa jāveic pirmo divu nedēļu laikā pēc lietošanas. Pārtraukuma-laikā eļļā ir liela dzelzs putekļu koncentrācija, kas var palielināt nodilumu.
Trīs. Tīrība un higiēna
Regulāri uzturiet iekārtas un tās apkārtnes higiēnu, uzturot iekārtas iekšpusi un ārpusi tīru un apkārtējo teritoriju sakārtotu, lai radītu labu darba vidi un nodrošinātu drošību.
Četri. Tīrīšana anOptiskā vakuuma pārklāšanas mašīna
Pēc nedēļas darbības pārklājuma materiāls ne tikai pārklāj apstrādājamā izstrādājuma virsmu, bet arī kameras iekšpusi, pateicoties tā ne-virzienam pārklājumam. Pārklājums pakāpeniski kļūs biezāks.
Šī plēve tās vaļīgās struktūras un sapīšanās dēļ absorbē lielu daudzumu gāzes, liekot vakuuma pārklājuma iekārtai lēnāk sūknēt gaisu. Šajā laikā kamera un starplika ir jātīra. Nevajadzīgās demontāžas daļas var noslīpēt tīras.
Ieliktni var mērcēt fluorūdeņražskābes šķīdumā. Fluorūdeņražskābes un ūdens attiecība jānosaka, pamatojoties uz nepieciešamo mērcēšanas laiku un vēlamo efektu uz starpliku. Pirms uzstādīšanas oderējums ir jāizžāvē.
Pirms žāvēšanas noslaukiet starpliku pēc iespējas sausu. Pēc darba rāmja un citu sastāvdaļu tīrīšanas ar smilšpapīru noņemiet visus putekļus no vakuuma kameras. To var izdarīt ar putekļu sūcēju.
Visbeidzot, uzstādot starpliku, gan vakuuma kamera, gan starplika ir jātīra ar spirta{0}}kontrolētu salveti. Elektronu lielgabala un jonu avota izmantošana, lai palīdzētu pārklāšanai, var apgrūtināt tīrīšanu; var izmantot smilšu strūklu vai citas tīrīšanas metodes.
