Vakuuma iztvaicēšana: Princips ir plēves materiāla karsēšana ar iztvaicētāju vakuuma apstākļos, lai to iztvaicētu vai sublimētu, un pēc tam iztvaicēto daļiņu plūsma tiek virzīta tieši uz substrātu, kur tā tiek nogulsnēta, veidojot cietu plēvi. Iztvaikošanu iedala arī elektronu staru iztvaikošanas, pretestības iztvaikošanas, indukcijas iztvaikošanas u.c.
Jonu pārklāšana: jonu pārklāšana parasti attiecas uz pārklāšanas metodi, kas pārklāšanas procesā rada lielu skaitu jonu. Plēves veidošanas procesā substrāts tiek pastāvīgi bombardēts ar augstas-enerģijas daļiņām, kā rezultātā veidojas ļoti spēcīgs plēves slānis ar izcilu izturību un adhēziju. Izmantojot jonu pārklājumu, lai izveidotu augstas-precizitātes plēves, lielas jonu daļiņas var tikt izfiltrētas, tādējādi iegūstot ļoti strukturētu un blīvu plēvi.
Visizplatītākās vakuuma pārklāšanas iekārtu pārklājuma tehnoloģijas ikdienas dzīvē ir šīs trīs. Konkrētā izvēle ir atkarīga no tā, kāds plēves slānis jāpārklāj un kāda sagatave jāpārklāj.
