Jonu pārklāšana izmanto gāzes izlādi vakuuma apstākļos, lai jonizētu gāzi vai iztvaicēto materiālu. Bombardējot gāzu jonus vai iztvaikojošo materiālu jonus, iztvaicētais materiāls vai tā reaģenti tiek nogulsnēti uz sagataves. Tas ietver magnetronu izsmidzināšanas jonu pārklāšanu, reaktīvo jonu pārklāšanu, dobu katoda izlādes jonu pārklāšanu (dobo katoda iztvaikošanu) un daudzloka jonu pārklājumu (katoda loka jonu pārklājumu). Jonu pārklājums apvieno kvēlizlādes un plazmas tehnoloģiju ar vakuuma iztvaikošanu, ievērojami uzlabojot pārklājuma veiktspēju un paplašinot tā pielietojumu. Papildus vakuuma izsmidzināšanas priekšrocībām jonu pārklājums nodrošina spēcīgu plēves saķeri, lieliskas difrakcijas īpašības un plašu pārklājuma materiālu klāstu.
Līdz ar to pēdējos gados tā ir piedzīvojusi strauju attīstību gan vietējā, gan starptautiskā mērogā. Jonu pārklāšanas pamatprincips ir jonizēt metāla vai sakausējuma tvaikus, izmantojot inertas gāzes spīduma vai loka izlādi. Jonu pārklāšana ietver pārklājuma materiāla (piemēram, TiN un TiC) karsēšanu, iztvaikošanu un nogulsnēšanos.
Iztvaikotā pārklājuma materiāla atomiem izejot cauri mirdzuma zonai, neliela daļa jonizējas un elektriskā lauka ietekmē lido pret apstrādājamo priekšmetu, ietriecoties virsmā ar vairāku tūkstošu elektronvoltu enerģiju. Tie var iekļūt pamatnē vairāku nanometru dziļumā, ievērojami uzlabojot pārklājuma adhēziju. Savienotie iztvaicētā materiāla atomi tiek tieši uzklāti uz sagataves, veidojot plēvi. Inertās gāzes jonu un pārklājuma materiāla jonu izsmidzināšana uz sagataves virsmas arī noņem piesārņotājus, tādējādi uzlabojot saķeri.
Tehnoloģijas, ko izmanto jonu vakuuma pārklāšanas mašīnas, iztvaikošanas pārklāšanas mašīnas un magnetronu izsmidzināšanas pārklāšanas iekārtas, ir atšķirīgas. Šiem pārklājuma tehnoloģijas principiem ir arī savas priekšrocības. Atbilstoši pārklājuma sagatavei un plēves slānim var izvēlēties dažādas pārklāšanas metodes, lai apmierinātu tirgus pieprasījumu.
