Magnetrona izspiešanas aprīkojumam ir galvenā loma daudzās jomās, piemēram, materiāla virsmas apstrādē un plēves sagatavošanā. Ikdienas apkope ir būtiska, lai nodrošinātu aprīkojuma stabilu darbību, pagarinātu tā kalpošanas laiku un nodrošinātu izsmidzinātās filmas kvalitāti. Tālāk tiks izstrādāti galvenie magnetrona spridzināšanas aprīkojuma ikdienas apkopes punkti.
Vakuuma sistēmas uzturēšana
1. Vakuuma sūkņa apkope: vakuuma sūknis ir magnetrona spridzināšanas iekārtas vakuuma sistēmas pamatkomponents. Regulāri pārbaudiet vakuuma sūkņa eļļas līmeni, lai pārliecinātos, ka eļļas līmenis ir normālā diapazonā. Pēc ilgtermiņa lietošanas vakuuma sūkņa eļļas veiktspēja pasliktinās piemaisījumu un mitruma adsorbcijas dēļ. Parasti vakuuma sūkņa eļļa ir jāmaina katrā noteiktā darbības periodā (piemēram, 2000 stundas). Tajā pašā laikā pievērsiet uzmanību, lai pārbaudītu vakuuma sūkņa jostas necaurlaidību. Pārāk vaļīga josta izraisīs vakuuma sūkņa ātrumu nestabilu un ietekmēs izplūdes gāzu efektivitāti; Pārāk stingri var paātrināt jostas nodilumu. Ja jostā ir parādītas nodiluma vai novecošanās pazīmes, tā jānomaina laikā.
2. Vakuuma cauruļu tīrīšana: vakuuma caurule ir kanāls, kas savieno vakuuma sūkni, un spridzināšanas kameru, kuru ir viegli absorbēt putekļu, piemaisījumu un daļiņu, kas rodas izspiešanas procesa laikā. Regulāri izmantojiet īpašu vakuuma cauruļu tīrīšanas rīku, lai notīrītu caurules iekšpusi, lai noņemtu piestiprinātos piemaisījumus. Grūtām detaļām var izmantot gāzes attīrīšanu, bet ir jānodrošina attīrīšanas gāzes tīrība. Turklāt pārbaudiet caurules necaurlaidību, lai redzētu, vai nav noplūdes. Neliela noplūde var izraisīt vakuuma pakāpi, lai sasniegtu ideālo stāvokli, ietekmējot izsmidzināšanas efektu. Hēlija masas spektrometra noplūdes detektoru var izmantot, lai noteiktu noplūdes caurulē, un noplūdes var salabot laikā.
3. Vakuuma mērierīces kalibrēšana: vakuuma mērierīci izmanto vakuuma sistēmas vakuuma pakāpes mērīšanai, un tās mērīšanas precizitāte ir tieši saistīta ar operatora spriedumu par aprīkojuma darbības stāvokli. Regulāri kalibrējiet vakuuma mērierīci, un parasti ieteicams to kalibrēt reizi sešos mēnešos vai vienu gadu. Kalibrēšanas process jāveic saskaņā ar aprīkojuma ražotāja nodrošināto darbības rokasgrāmatu, un jāizmanto standarta kalibrēšanas aprīkojums, lai nodrošinātu, ka vakuuma mērītāja izmērītie vakuuma pakāpes dati ir precīzi un uzticami.
Sputninga mērķa uzturēšana
1. Mērķa virsmas tīrīšana: Springing procesa laikā produktu un piemaisījumu izsmidzināšana pakāpeniski nogulsnējas uz mērķa virsmas, ietekmējot stuterēšanas ātrumu un plēves kvalitāti. Pēc katras aprīkojuma izmantošanas mērķa virsma jātīra laikā. Metāla mērķiem, lai maigi notīrītu virsmas nogulsnes, var izmantot īpašu mērķa tīrīšanas suku; Dažiem jutīgākiem mērķiem, piemēram, keramikas mērķiem, ir nepieciešama maigāka tīrīšanas metode, piemēram, maigi noslaukot ar tīru mīkstu audumu, kas iemērc piemērots īpaša tīrīšanas līdzekļa daudzumā. Izvairieties no asu instrumentu izmantošanas, lai saskrāpētu mērķa virsmu, lai neizgatavotu mērķi.
2. Mērķa instalēšanas pārbaude: regulāri pārbaudiet mērķa uzstādīšanu, lai pārliecinātos, ka mērķa ir stingri uzstādīta. Mērķi bombardē ātrgaitas joni stieples procesa laikā. Ja tas nav stingri uzstādīts, tas var izraisīt mērķa kratīšanu vai pat nokrist, kas ne tikai ietekmēs stuterēšanas efektu, bet arī sabojā aprīkojumu. Pārbaudiet, vai savienojums starp mērķi un izsmidzināšanas barošanas avotu ir labs. Savienojuma atslābums var izraisīt nestabilu izspiešanas procesu un izraisīt patoloģiskas parādības, piemēram, dzirksteļošanu. Ja savienojums tiek atzīts par vaļīgu, savienojošās skrūves ir jāpieliek savlaicīgi.
3. Mērķa kalpošanas laika uzraudzība: dažāda veida mērķa materiāliem ir īpašs kalpošanas laiks. Pievērsiet īpašu uzmanību mērķa izsmidzināšanas laiku un izsmidzināšanas efektu. Kad mērķa izspiešanas ātrums ievērojami samazinās un filmas kvalitāte svārstās, tas var nozīmēt, ka mērķis ir tuvu tā kalpošanas dienai. Laikā nomainiet mērķa materiālu, lai nodrošinātu izspiešanas procesa stabilitāti un filmas kvalitātes konsekvenci. Tajā pašā laikā reģistrējiet mērķa materiāla lietošanas laiku un ar to saistītos parametrus, lai nodrošinātu pamatu turpmākai mērķa materiāla nomaiņai un veiktspējas novērtēšanai.
Elektriskās sistēmas uzturēšana
1. Strāvas padeves pārbaude: Magnetrona starojuma aprīkojuma barošanas avots nodrošina enerģiju izspiešanas procesam, un tā stabilitāte ir būtiska. Regulāri pārbaudiet, vai barošanas avota izejas spriegums un strāva ir normālā diapazonā. Lai noteiktu barošanas avotu, varat izmantot profesionālus elektrības mērīšanas instrumentus, lai pārbaudītu, vai izejas parametri atbilst aprīkojuma iestatīšanas vērtībām. Ja tiek konstatēts, ka izejas spriegums vai strāva svārstās nenormāli, iemesls ir nekavējoties jāizpēta. Tā var būt kļūme barošanas avota iekšējos komponentos vai problēma ar līnijas savienojumu. Turklāt pārbaudiet strāvas padeves siltuma izkliedi, lai pārliecinātos, ka barošanas avots var normāli izkliedēt siltumu darbības laikā. Strāvas padeve radīs daudz siltuma, strādājot ilgu laiku. Ja siltuma izkliede ir slikta, tas var izraisīt komponentu bojājumus. Notīriet putekļus uz barošanas avota radiatora, lai pārliecinātos, ka dzesēšanas ventilators darbojas normāli.
2. Elektriskās ķēdes apkope: pārbaudiet, vai elektriskā ķēde iekārtas iekšpusē ir novecojusi vai bojāta. Pēc ilgtermiņa lietošanas elektriskajai ķēdei var būt tādas problēmas kā izolācijas slāņa novecošana un stieples bojājumi, kas radīs drošības apdraudējumus un ietekmēs parasto aprīkojuma darbību. Atrastām novecošanās vai bojātām shēmām tās jānomaina laikā. Tajā pašā laikā pārliecinieties, ka līnijas savienojums ir stingrs, lai izvairītos no vājības, kas izraisa sliktu kontaktu. Loose savienojuma punkti var radīt dzirksteles aprīkojuma darbības laikā, sabojāt aprīkojuma komponentus vai pat izraisīt uguni. Regulāri pievelciet līnijas savienojuma punktu skrūves un pārbaudiet kontaktdakta un kontaktligzdas kontaktu.
3. Vadības sistēmas uzturēšana: aprīkojuma vadības sistēma ir atbildīga par dažādu izspiešanas procesa parametru uzraudzību un pielāgošanu. Regulāri dublējiet datus vadības sistēmā, lai novērstu datu zudumu. Tajā pašā laikā pārbaudiet, vai vadības sistēmas programmatūrai ir atjaunināšanas uzvedumi. Savlaicīgi programmatūras atjauninājumi var novērst zināmās ievainojamības un uzlabot sistēmas stabilitāti un funkcijas. Turklāt notīriet vadības sistēmas darbības saskarni, lai nodrošinātu, ka pogas un displejs darbojas pareizi, un operators var precīzi ievadīt parametrus un iegūt informāciju par aprīkojumu.
Dzesēšanas sistēmas uzturēšana
1. Dzesēšanas šķidruma pārbaude: dzesēšanas sistēmu izmanto, lai samazinātu siltumu, ko aprīkojums rada darbības laikā. Dzesēšanas šķidrums ir dzesēšanas sistēmas galvenais līdzeklis. Regulāri pārbaudiet dzesēšanas šķidruma līmeni, lai pārliecinātos, ka līmenis ir normālā diapazonā. Dzesēšanas šķidruma līmenis samazināsies iztvaikošanas, noplūdes utt. Sakarā ar ilgtermiņa lietošanas laikā. Pārāk zems A līmenis ietekmēs dzesēšanas efektu. Tajā pašā laikā pārbaudiet dzesēšanas šķidruma kvalitāti un novērojiet, vai dzesēšanas šķidrums tiek mainīts, duļķains vai tam ir smaka. Ja dzesēšanas šķidrums pasliktinās, tas jānomaina laikā. Parasti ieteicams nomainīt dzesēšanas šķidrumu ik pēc 1-2 gadiem. Īpašo rezerves ciklu var noteikt atbilstoši aprīkojuma un ražotāja ieteikumu izmantošanai.
2. Dzesēšanas cauruļu apkope: pārbaudiet, vai dzesēšanas caurule ir bloķēta. Dzesēšanas caurules iekšpusi var bloķēt mēroga, piemaisījumu utt. Sarākšanas dēļ, kas ietekmē parasto dzesēšanas šķidruma plūsmu. Caurules var notīrīt, tīrījot ķīmisku tīrīšanu vai fizisku tīrīšanu. Ķīmiskā tīrīšana var izmantot īpašu cauruļu tīrīšanas līdzekli, bet pievērst uzmanību tīrīšanas līdzekļa koncentrācijai un tīrīšanas laikam, lai izvairītos no korozijas pret cauruli. Fizisko tīrīšanu var veikt ar augstspiediena ūdens pistoles skalošanu un citām metodēm. Turklāt pārbaudiet dzesēšanas caurules blīvējumu, lai novērstu dzesēšanas šķidruma noplūdi. Ja caurulē tiek atrasta noplūde, bojātās caurules daļas jālabo vai jāmaina laikā.
3. Dzesēšanas iekārtu pārbaude: pārbaudiet dzesēšanas sistēmā ūdens sūkni, radiatoru un citu aprīkojumu. Pārliecinieties, ka ūdens sūknis darbojas normāli. Ūdens sūkņa lāpstiņritenis var ietekmēt sūknēšanas spēju nodiluma dēļ. Ja tiek konstatēts, ka ūdens sūknis ir sūknēts neparasti, ūdens sūknis jānoņem vai jānomaina laikā. Pārbaudiet, vai radiatora siltuma izlietnes spuras ir bloķētas, notīriet putekļus un gružus uz siltuma izlietnes spurām un pārliecinieties, ka radiators var efektīvi izkliedēt siltumu. Tajā pašā laikā pārbaudiet dzesēšanas ventilatora darbību, lai pārliecinātos, ka ventilators parasti var nodrošināt dzesēšanas gaisu radiatoram.
Iekārtas tīrīšana un vides uzturēšana
1. Iekārta Virsmas tīrīšana: regulāri notīriet magnetrona stieples aprīkojuma virsmu, lai noņemtu putekļus, eļļu un citus piesārņotājus. Jūs varat izmantot tīru mīkstu audumu, lai iemērktu atbilstošā mazgāšanas līdzekļa daudzumā un viegli noslaukiet aprīkojuma virsmu. Dažiem spītīgiem traipiem varat izmantot īpašu aprīkojuma tīrītāju, taču esiet piesardzīgs, lai izvairītos no mazgāšanas līdzekļa ienākšanas iekārtas iekšpusē. Pēc tīrīšanas noslaukiet aprīkojuma virsmu ar tīru audumu, lai aprīkojuma izskats būtu tīrs.
2. Tīra darba vide: aprīkojuma darba videi ir arī nozīmīga ietekme uz tā sniegumu un dzīvi. Saglabājiet darba vidi tīru, regulāri notīriet putekļus uz zemes un izvairieties no pārāk daudz putekļu, lai iekļūtu aprīkojumā. Kontrolēt darba vides temperatūru un mitrumu. Parasti magnetrona izsmidzināšanas iekārta ir piemērota darbam vidē ar temperatūru 20-25 un relatīvo mitrumu 40%-60%. Lai pielāgotu apkārtējās vides temperatūru un mitrumu, var uzstādīt gaisa kondicionēšanas un sausināšanas aprīkojumu. Turklāt pārliecinieties, ka darba vide ir labi ventilēta, lai novērstu siltuma un izplūdes gāzu uzkrāšanos, kas rodas aprīkojuma darbības laikā.
Īsāk sakot, magnetrona spridzināšanas aprīkojuma ikdienas uzturēšana aptver vairākus aspektus, piemēram, vakuuma sistēmu, mērķi, elektrisko sistēmu, dzesēšanas sistēmu, aprīkojuma tīrīšanu un vides apkopi. Operatoriem stingri jāievēro aprīkojuma ražotāja tehniskās apkopes rokasgrāmata regulārai apkopei, nekavējoties atklāt un atrisināt iespējamās problēmas, lai nodrošinātu aprīkojuma stabilu darbību, uzlabotu aprīkojuma kalpošanas laiku un tādējādi uzlabotu izsmidzinātās filmas kvalitāti un ražošanas efektivitāti.
