Galvenā vakuuma pārklājuma mašīnu klasifikācija

Pastāv divas galvenās kategorijas: iztvaikošanas nogulsnēšanas pārklājums un izspiešanas nogulsnēšanas pārklājums, kas ietver daudzus veidus, ieskaitot vakuuma jonu iztvaikošanu, magnetrona sprādzienu, MBE molekulārā staru epitaksija, sol-gel metodi utt.
1. Iztvaikošanas pārklājumu:
Parasti mērķa materiālu karsē, lai iztvaikotu virsmas komponentus atomu grupu vai jonu veidā.
Biezuma vienveidība galvenokārt ir atkarīga no:
1. RATICE saskaņošanas pakāpe starp substrāta materiālu un mērķa materiālu
2. Substrāta virsmas temperatūra
3. Iztvaikošanas jauda, ​​likme
4. Vakuuma grāds
5. Pārklājuma laiks, biezuma lielums.
Komponenta vienveidība:
Iztvaikošanas pārklājuma komponentu vienveidību nav viegli garantēt. Konkrētie faktori, ko var pielāgot, ir tādi paši kā iepriekš. Tomēr, ņemot vērā principa ierobežojumu, kas nav vienīgais komponentu pārklājums, iztvaikošanas pārklājuma komponenta vienveidība nav laba.
Kristāla orientācijas vienveidība:
1. RATICE Saskaņošanas pakāpe
2. Substrāta temperatūra
3. Iztvaikošanas ātrums
Pārklājumu var iedalīt daudzos veidos. Vispārīgi runājot, atšķirība no iztvaikošanas pārklājuma ir tāda, ka sprādziena ātrums kļūs par vienu no galvenajiem parametriem.
Stiprināšanas pārklājumā lāzera spridzināšanas pārklājuma PLD ir viegli saglabāt komponentu vienveidību, bet biezuma vienveidība atomu skalā ir salīdzinoši slikta (jo tas ir pulsēts spridzināšana), un arī kristāla virziena (ārējā mala) augšana ir salīdzinoši vispārīga.