Iztvaicējot ar elektronu staru, plēves materiāls tiek ievietots ūdens -dzesētā vara tīģelī un tieši izmantots elektronu staru kūļa sildīšana, lai plēves materiālā esošie atomi vai molekulas iztvaikotu un izkļūtu no virsmas, pēc tam nonāktu substrāta virsmā un kondensējas plēvē.
Elektronu staru iztvaikošana ir augstāka termiskā efektivitāte, lielāks staru strāvas blīvums, ātrāks iztvaikošanas ātrums un augstāka plēves tīrība nekā vispārējās pretestības karsēšanas iztvaikošana.
Lietojumprogrammas:
Elektronu staru iztvaikošanas vakuuma pārklājuma iekārtas var pārklāt dažādas plēves sistēmas ar lielu skaitu slāņu, piemēram, īso-viļņu caurlaidību, garo{1}}viļņu caurlaidību, pret-atstarojošo plēvi, atstarojošo plēvi, filtru plēvi, spektroskopisko plēvi, joslas caurlaides plēvi, dielektrisko plēvi, krāsu plēvi ar augstu atstarojošo plēvi, utt.
Tas var nodrošināt plēves pārklājumu 0–50 plēves slāņiem, kā arī var atbilst pārklājuma prasībām tādiem produktiem kā automašīnu atstarojošais stikls, brilles, optiskās lēcas, aukstās gaismas krūzes utt.
Tas var pārklāt dažādas plēves sistēmas ar dažādiem iztvaikošanas avotiem, elektronu lielgabaliem, jonu avotiem un plēves biezuma mērītājiem, kā arī var iztvaikot metālus, oksīdus, savienojumus un citus plēves materiālus ar augstu -kušanas-punktu.
Funkcijas:
Optiskā pārklāšanas iekārta ir aprīkota ar kvarca kristāla plēves biezuma mērītāju, un PLC un skārienekrāna sistēma ir apvienota, lai realizētu visa darba procesa automātisku vadību ar izcilu darba efektivitāti un produkta kvalitātes atkārtojamību.
Piemērots izmantošanai ražotājiem optiskajā jomā un liela mēroga{0}}rūpnieciskās ražošanas prasībām.
Specifikācija:
| Optiskā pārklājuma mašīna | |||||||
|
Modelis |
SF-800 |
SF-1200 |
SF-1400 |
SF-1600 |
SFW-1000 |
SFW-1200 |
SFW-1600 |
|
Kameras izmērs |
Φ800 × 1000 mm |
Φ1200×1400MM |
Φ1400×1600MM |
Φ1600 × 1800 mm |
Φ1000 × 1100 mm |
Φ1200×1400MM |
Φ1600 × 1800 mm |
|
Vakuuma vienība |
KT500 difūzijas sūkņa iekārta |
KT630 difūzijas sūkņa iekārta |
Divkāršs KT630 difūzijas sūknis |
Divkāršs KT630 difūzijas sūknis |
KT500 difūzijas sūkņa iekārta |
KT630 difūzijas sūkņa iekārta |
Divkāršs KT630 difūzijas sūknis |
|
Pārklājuma sistēma |
Elektronu pistoles iztvaikošanas avots, pārklājuma papildu jonu barošanas avots vai Hall jonu avots |
||||||
|
Inflācijas sistēma |
Spiediena kontrolieris |
||||||
|
Kontroles metode |
Manuāla vai pilnībā automātiska |
||||||
|
Plēves biezuma uzraudzības sistēma |
Kvarca kristāla plēves biezuma uzraudzības sistēma |
||||||
|
Sūknēšanas ātrums |
5×10-3Pa﹤15min |
||||||
|
Maksimālais vakuums |
3,0X10-4Pa |
||||||
|
Piezīme |
Iepriekš minētie aprīkojuma parametri ir paredzēti tikai atsaucei, un tie ir izstrādāti un pielāgoti atbilstoši klientu faktiskajām procesa prasībām. |
||||||
Populāri tagi: elektronu staru iztvaikošanas vakuuma pārklājuma iekārtas, Ķīnas elektronu staru iztvaikošanas vakuuma pārklājuma iekārtu ražotāji, piegādātāji, rūpnīca
