Vairāku loku pārklājuma mašīnas darba princips

Vairāku loku pārklājuma mašīna rada augstu temperatūras plazmu caur vairākiem loka avotiem (4-16), iztvaiko metāla materiālu un nogulsnējas uz substrāta virsmas, lai sasniegtu efektīvu pārklājumu (plēves biezuma vienveidība ± 5%). Tās pamatkamera ir sadalīta pārklājuma kamerā (vakuuma pakāpe, kas ir mazāka vai vienāda ar 10^-3Pa) un pirms apstrādes kameras. Pirmais nodrošina zemas ietekmes vidi, bet otro-substrātu tīrīšanai un pulēšanai, lai uzlabotu saķeri. Galvenie procesa parametri ir loka avota jauda (20-200A), substrāta temperatūra (100-300 grāds) un nogulsnēšanās ātrums (1-10nm/s), kas ir dinamiski jāpielāgo atbilstoši substrāta formai (piemēram, sarežģītām izliektām virsmām) un materiālam (metālam/keramikai). Tas ir piemērots tādām ainām kā optiskā objektīva pretrefleksijas plēve un instrumentu cietais pārklājums.