Pašlaik ir daudz metožu plānu kārtiņu uzraudzībai vakuuma pārklāšanas iekārtās, tostarp: vizuāla uzraudzība, fiksētas (ārkārtējas) vērtības uzraudzība, kristāla svārstību uzraudzība un laika uzraudzība. Šajā rakstā galvenokārt tiks iepazīstinātas ar trim metodēm: vizuālo uzraudzību, fiksēto (ārkārtējo) vērtību uzraudzību un kristāla svārstību uzraudzību. Vizuālā uzraudzība, kas pazīstama arī kā tieša uzraudzība, izmanto acis, lai uzraudzītu filmu. Plēves augšanas procesā traucējumu parādības izraisa krāsas izmaiņas, un mēs kontrolējam plēves biezumu, pamatojoties uz šīm krāsu izmaiņām. Šai metodei ir zināma kļūdu pakāpe, un tā nav ļoti precīza, un tai ir nepieciešama pieredze.
Fiksētās-vērtības (ekstrēmās-vērtības) uzraudzība: galvenokārt tiek izmantota atstarojoša (transmisīva) optiskā uzraudzība. Ekstrēmās-vērtības uzraudzības metode: palielinoties plēves biezumam, attiecīgi mainās tās atstarošanas spēja un caurlaidība. Kad atstarošanās vai caurlaidība sasniedz galējo punktu, pārklājuma optisko biezumu ND var noteikt kā veselu skaitļu reizini ar vienu -ceturtdaļu no uzraudzības viļņa garuma (λ). Tomēr galējās-vērtības metodei ir salīdzinoši liela kļūda, jo atstarošanās vai caurlaidība mainās ļoti lēni tuvu galējai vērtībai; tas ir, R/T mainās tikai pēc ievērojama plēves biezuma ND palielināšanās. Visjutīgākā pozīcija ir vienā-astotajā daļā no viļņa garuma. Fiksētās{11}}vērtības uzraudzības metode: šī metode izmanto faktu, ka pārklājuma apstāšanās punkts neatrodas vienā{12}}ceturtdaļā no uzraudzības viļņa garuma. Pēc tam dators aprēķina kopējā plēves biezuma atstarošanu (vai caurlaidību) pie viļņa garuma 1, kas ir pārklājuma apstāšanās punkts. Kristālu svārstību uzraudzība: kristāla svārstību darbības princips ir balstīts uz principu, ka kvarca kristāla vibrācijas frekvence ir apgriezti proporcionāla tā masai. Tomēr viens kvarca monitoringa trūkums ir tāds, ka tad, kad plēves biezums palielinās līdz noteiktam līmenim, vibrācijas frekvence nav pilnībā lineāri saistīta ar biezumu paša kvarca īpašību dēļ. Šajā gadījumā ir jāizmanto jauns kvarca oscilators.
Katrai no vairākām uzraudzības metodēm ir savas priekšrocības un trūkumi, taču daudzslāņu pārklājumiem optiskā uzraudzība parasti ir primārā metode, ko papildina kvarca kristāla svārstības. Turklāt dažiem procesiem, kuriem pārklāšanas laikā nepieciešama gāzes iesmidzināšana, ir nepieciešami plūsmas mērītāji vai spiediena mērītāji, kuru vadībai nepieciešami precīzi vārsti un fotoelektriskās sensoru sistēmas. Vakuuma pārklāšanas mašīnām ir nepieciešama arī rotācijas vadības sistēma, kur lietussarga galvenā vārpsta ir novietota gultņa iekšpusē, un motors virza gultni, lai pagrieztu lietussargu. Pēc tam rotācijas ātrumu kontrolē PLC. Tīģeļa rotāciju virza motors, un tajā tiek izmantota fotoelektriskā indukcijas skaitīšana, savukārt aizsargplāksne griežas, izmantojot pneimatisko slēdzi. Lai paātrinātu sūknēšanas ātrumu un sasniegtu noteiktu vakuuma līmeni, vakuuma kamera ir jāatdzesē, sasaldējot gaisu iekšā līdz -130 grādiem pēc Celsija un sasaldējot un noņemot visus ūdens tvaikus. Elektriskās vadības sadaļa galvenokārt izmanto PLC automātisko vadību. Iepriekš{10}}izstrādātā programma vispirms tiek ievadīta PLC, un procesora galvenā ķēde tiek savienota ar katru bezslodzes sistēmu darbības panelī. Nospiežot vadības paneļa slēdzi, informācija tiek pārsūtīta uz centrālo procesoru, un pēc tam centrālā vadības sistēma veic analīzi un izdod instrukcijas atzaru shēmām, lai izpildītu un pabeigtu darbību.
Vakuuma pārklāšanas mašīnas ir ierīces, kas apvieno vairākas disciplīnas. Tajos ir iekļautas vismodernākās elektromehāniskās tehnoloģijas, vadības tehnoloģijas, elektriskā automatizācija, IT tehnoloģijas, saldēšanas tehnoloģijas, mikroshēmu integrētās sistēmas, augstsprieguma vadības sistēmas, mehāniskās tehnoloģijas, apstrādes tehnoloģijas, optoelektroniskās tehnoloģijas, optiskās tehnoloģijas, pneimatiskās vadības tehnoloģijas, optoelektroniskās sensoru tehnoloģijas, sakaru tehnoloģijas, vakuuma tehnoloģijas, plānas{{2} un optiskās tehnoloģijas. Vakuuma pārklāšanas mašīnas var uzskatīt par jauno nozaru pārstāvi. Mūsdienās vakuuma pārklāšanas mašīnas tiek plaši izmantotas, īpaši plāno kārtiņu ražošanā. Dažādās ražotās plānās plēves tiek izmantotas dažādās optoelektroniskajās sistēmās un optiskajos instrumentos, piemēram, digitālajās kamerās, digitālajās videokamerās, teleskopos, projektoros, enerģijas kontrolē, optiskajos komunikācijās, displeja tehnoloģijās, interferometros, mākslīgajos pavadoņos un raķetēs, pusvadītāju lāzeros, mikroelektromehāniskajās sistēmās, informācijas industrijā, lāzeru ražošanā, dažādos sensoros, gaismas arhitektūras rūpniecībā, stikla sensoros, gaismas rūpniecībā priekšmetus, monētas, briļļu lēcas un daudz ko citu. Pārklāšanas mašīnas ir kļuvušas cieši integrētas cilvēka dzīvē.
