1. Kameras virsma tiks pastāvīgi "pārrakstīta"
Katrs PVD process atstās pēdas kamerā.
Šīs pēdas galvenokārt nāk no:
No mērķa izsmidzināta materiāla nogulsnēšanās, reakcijas produktu adhēzija un uzkrāšanās, vairāku materiālu mainīgs pārklājums
Laika gaitā kameras iekšējā siena vairs nav oriģinālais metāls, bet gan kompozītmateriālu plēvju slānis, kas pastāvīgi tiek uzklāts un attīstās.
Vēl svarīgāk ir tas, ka šī filma nav “stabila” un turpinās piedalīties turpmākajos procesos, piemēram, atkārtotā{0}}izsmidzināšanā, pārklāšanā un re{1}}reakcijā.
Citiem vārdiem sakot, pati kameras virsma ir kļuvusi par ražošanas procesa sastāvdaļu.
2. Gāzes vide arī tiek "atcerēta"
Kamera ir ne tikai "augošā plēve", bet arī "gaisa aizturēšana".
Ūdens tvaiki, skābeklis un atlikušās procesa gāzes turpinās adsorbēties uz kameras virsmas.
Turpmākajos procesos šīs gāzes var izdalīties un atkārtoti{0}}ieplūst plazmā.
Šī procesa iezīmes ir šādas:
Nav pilnībā kontrolējams. Cieši saistīts ar temperatūru, laiku un izlādes statusu. Atšķirības būs dažādās partijās.
Rezultāts ir:
Pat ja gāzes plūsmas ātrums ir iestatīts konsekventi, reakcijā faktiski iesaistītā atmosfēra var atšķirties.
3. Izlādes ceļš pakāpeniski "labojas"
Izlāde nav stabila no paša sākuma; drīzāk tas pakāpeniski veido struktūru ilgstošas{0}}darbības laikā.
Procesam atkārtojoties: Dažos reģionos ir vieglāk uzturēt izlādi; citi pakāpeniski vājina; plazmas sadalījums tiecas uz "parasto ceļu". Šis process būtībā ir "stabilas struktūras" izveidošana.
Kad tas būs izveidots, tas nepārtraukti ietekmēs turpmākos procesus.
4. Kāpēc, mainot procesus, visbiežāk rodas problēmas?
Kad process tiek pārslēgts, tiek izjaukts sākotnējais "stacionārais stāvoklis": Jauni materiāli pārklāj veco depozīta slāni; mainās gāzes sistēma; plazmas struktūra pārdalās. Tomēr šīs izmaiņas nav tūlītējas, bet drīzāk pārejas process.
Šī procesa laikā: sistēma nav ne "vecajā stāvoklī", ne arī pārgājusi "jaunā līdzsvara stāvoklī".
Tādējādi notiek tipiska parādība: pirmajās dažās partijās ir ievērojamas svārstības, kam seko pakāpeniska stabilizācija.
5. Kāpēc tīrīšana ir vienāda ar "atmiņas atiestatīšanu"?
Tīrīšanas funkcija ir ne tikai noņemt netīrumus, bet vēl svarīgāk:
Noņemiet nogulsnes
Izjaukt gāzes adsorbcijas līdzsvaru
Atiestatīt izlādes ceļus
No sistēmas viedokļa tas ir līdzvērtīgs:
Pilnīga{0}}ilgtermiņa uzkrāto stāvokļu noņemšana.
Tātad pēc tīrīšanas:
Sākotnējā amatniecības pieredze vairs nav pilnībā piemērojama, un ir jāatjauno{0}}jauns atlikums.
6. Fundamentālāka izpratne
Ja mēs šo parādību apkopotu vienā teikumā, to varētu saprast šādi: PVD sistēma nav "bezatmiņas ievades/izvades sistēma", bet drīzāk dinamiska sistēma, ko nepārtraukti ietekmē vēsture.
Parametri ir tikai daļa no ievades, savukārt pats "kameras stāvoklis" ir pastāvīgi mainīgs netiešs mainīgais.
7. Kopsavilkums
Kameras "stāvokļa atmiņas" veidošanās būtībā izriet no trim ilgstošiem{0}}pārklātiem procesiem: iekšējās sienas nogulšņu slāņa nepārtraukta attīstība, nepārtraukts gāzu adsorbcijas un atbrīvošanās cikls un izlādes ceļa pakāpeniska sacietēšana atkārtotu procesu laikā. Šie faktori darbojas kopā, lai sistēmai būtu skaidra "vēstures atkarība".
8. Galvenais secinājums: katru reizi redzamais izlādes stāvoklis faktiski nav pašreizējo parametru rezultāts, bet gan pašreizējo parametru un vēsturiski uzkrāto stāvokļu superpozīcija.
