Magnetrona izsmidzināšanas aprīkojums galvenokārt sastāv no šādām detaļām:
1. Mērķa materiāls: magnetrona spridzināšanas aprīkojuma galvenā sastāvdaļa, kas parasti ir izgatavota no metāla, sakausējuma un citiem materiāliem.
2. Vakuuma kamera: magnetrona spridzināšanas aprīkojuma darbības vide ir jāveic augstos vakuuma apstākļos, un vakuuma kamerai ir vakuuma uzturēšanas loma.
3. Magnetrona sistēma: magnētisko lauku izmanto, lai kontrolētu jonu bombardēšanu uz mērķa materiāla virsmas, lai izraisītu izsmidzināšanu.
4. Substrāta rāmis: izmantots, lai atbalstītu apstrādājamo substrāta materiālu.
5. Apkures sistēma: dažos gadījumos mērķa materiāls un substrāts ir jāuzsilda, lai kontrolētu izsmidzināšanas procesu.
